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ASTM F 1530-2002 用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-29 02:27:27  浏览:8955   来源:标准资料网
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringFlatness,Thickness,andThicknessVariationonSiliconWafersbyAutomatedNoncontactScanning
【原文标准名称】:用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1530-2002
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:探测法;半导体;薄片;平整度;硅;厚度;试验
【英文主题词】:thickness;semiconductors;probemethods;wafers;flatness;silicon;tests
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语


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【英文标准名称】:StandardSpecificationandTemperature-ElectromotiveForce(EMF)TablesforStandardizedThermocouples
【原文标准名称】:标准化热电偶用温度电动势(EMF)图表的标准规范
【标准号】:ASTME230-1998
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1998
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:温差电器件;热电偶;温度;温度测量;表;桌子;桌子
【英文主题词】:temperaturemeasurement;temperature;thermocouples;tables;thermoelectricdevices
【摘要】:
【中国标准分类号】:N11
【国际标准分类号】:17_200_20
【页数】:176P;A4
【正文语种】:英语


【英文标准名称】:Plasticbobbinsforringspinningframes
【原文标准名称】:环锭精纺机用塑料筒管
【标准号】:JISL5302-1992
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:1992-02-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonIndustrialMachinery
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:环锭细纱机;筒管(纺织);细纱机;塑料
【英文主题词】:ringframes;spinningframes;bobbins;
【摘要】:この規格は,JISL5168に規定されているリング精紡機用スピンドルに使用するプラスチックポビン(以下,ボビンという。)について規定する。
【中国标准分类号】:W93
【国际标准分类号】:59_120_10
【页数】:12P;A4
【正文语种】:日语



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